一、洁净厂房的位置选择

选择在大气含尘和有害气体浓度较低 物流较少的区域（远离铁路、码头、飞机场、交通要道等）；如以上条件不可避免，则应位于频率风向上风侧，或者全年频率风向下风侧。对于有微振控制要求的洁净厂房，应先测定周边振动影响。洁净厂房的新风口与交通干道边沿的距离应大于50m；周围设唤醒消防车道；周边道路选用发尘少的材料。

二、洁净厂房的工艺平面布置

洁净室（区）内只布置必要的工艺设备，以及有空气洁净度等级要求的工序和工作室。有空气洁净度要求的洁净室（区）应靠近空气调节机房；空气洁净度要求严格的工序应布置在上风侧；易产生污染的工艺设备应布置在靠近回风口位置。充分考虑大型设备的安装运维路线，预设安装口和检修口。设置气闸室、传递窗；单独的物料入口。车间内各项固定技术设施（送风口、照明器、回风口、管线等）的布置应优先考虑净化空调系统的要求。